Vollautomatische Wafer-Probing-Ausrüstung: PS4L-FA

SemiProbe bietet eine Palette vollautomatischer Wafer-Probing-Systemen mit mehreren einzigartigen Modellen zur Auswahl, die robust sind und Probing-Hochgeschwindigkeitslösungen für die Analyse- oder Produktion von Halbleiterwafern bieten. Die Systeme sind mit Kassettenhaltern, Pre-aligners und Robotersystemen mit Endeffektoren ausgestattet, die speziell für die Anwendung entwickelt sind.

Das Sortiment umfasst automatische Probing-Systeme für 100-, 150-, 200-, 300-mm- und 450-mm-Wafer mit einem modularen Aufbau, der zukünftige Funktionserweiterungen und Modifikationen für unterschiedliche Anforderungen ermöglicht.

Die intuitive PILOT™-Steuerungssoftware erleichtert die Einrichtung, Anbindung und Bedienung der Systeme. Bei Bedarf können Softwaremodule zum Basissystem hinzugefügt werden. Individuelle Kundenanwendungen können mit der PILOT Control-Software integriert werden, um ein maßgeschneidertes System zu erstellen, das spezifische Anforderungen erfüllt. Die Kommunikation kann über RS-232, GPIB oder TCP/IP erfolgen, sodass das System entweder als Controller oder als Slave fungieren kann.

Merkmale der vollautomatischen Wafer-Probing-Systeme PS4L-FA:

• Mehrere Anwendungen mit demselben System: DC, Hochfrequenz, OPTO, MEMS und mehr
• Verarbeitet bis zu fünfzig Wafern und Substrate mit einem Durchmesser von 100, 150, 200 und 300 mm
• Behandelt Chips und Wafern mit zwei Endeffektoren
• Behandelt dünne und verzogene Wafern bis zu einer Dicke von 90 µm und mehr
• Flexible PILOT Control Software Suite – Ausrichtung, Profilierung, Wafer-Mapping, Schnittstellen und mehr
• Zahlreiche Optionen – Thermo-Chucks, Optik, Barcodeleser, OCR, Manipulatoren, Testkarten und mehr
• Produktions- und Analysefunktionen, individuell konfiguriert für Ihre Bedürfnisse und Anwendung