Optoelektronisches Wafer-Probing-System

SemiProbe hat neue elektro-optische Methoden und Möglichkeiten für die Prüfung optoelektronischer und photonischer Komponenten auf Waferebene entwickelt und verfügt über umfangreiche Erfahrungen bei der Prüfung von Silizium-Photobauelementen und Verbundmaterialien, einschließlich Leuchtdioden (LED), oberflächenemittierenden Lasern mit vertikalem Resonator (VCSEL) und Photodioden usw.

Der einzigartige Ulbricht-Kugelhalter ermöglicht es dem Benutzer, dasselbe PS4L-System für horizontale (EELD) und vertikale (VCSEL, LED) Tests in einer manuellen oder halbautomatischen Konfiguration zu verwenden. SemiProbe hat Wafer-Maps entwickelt, die >100k Die abbilden können, einzigartige Chuck-Systeme, um zerbrechliche oder gebrochene Wafer zu handhaben, Hochgeschwindigkeits-Tische und Software zur Erhöhung des Durchsatzes.

Zu den weiteren Entwicklungen gehören auch manuelle, halb- und vollflächige DSP-Fähigkeiten (Double Side Probing – Doppleseitige Probing), die dem Benutzer die Flexibilität bieten, sowohl von der Ober- als auch von der Unterseite zu prüfen. In einigen Fällen kann ein Emissionsmikroskop oder ein Sonnensimulator auf der einen Seite angebracht werden, während die andere Seite die Bias- oder elektrische Stimulationsseite ist. Der DSP verfügt sowohl über eine Ober- als auch eine Unterseitenoptik, so dass beide Seiten unabhängig voneinander oder gleichzeitig betrachtet werden können.

Zu den weiteren Funktionen gehören die Ausrichtung von Fasern im Submikrometerbereich für die Prüfung von Silizium-Photonik-Bauelementen mit manuellen oder automatischen Mehrachsen-Positionierern und die Lasermessung für die kontinuierliche Einstellung der Wafer-Ebenheit.

• Manuelle, halb- und vollautomatische elektro-optische Systeme
• Mehrere Anwendungen: SSP, DSP, Vakuum, HF, OPTO & mehr
• Lichtmessungen über Fasern oder Ulbrichtsche Kugeln etc.
• Testen einzelner Die, Laserbarren, Teil- oder Vollwafer bis zu 300 mm
• Umfangreiches Angebot an Optionen und Funktionen
• Kostengünstig und vor Ort aufrüstbar