Vakuum-Wafer-Probing-Systeme
Key Features
- Prüfung von MEMS, Sensoren, Schaltern, Mikrobolometern usw.
- Leicht anpassbar für eine Vielzahl von Anwendungen und Budgets
- Halbautomatische und vollautomatische Versionen
- Ideal für Forschungs- und Produktionsprüfungsanforderungen
- Prüfung von Halbleiterchips, Teil- und Vollwafern bis 200 mm
- Verschiedene Pumpen und Steuerungen für eine Vielzahl von Vakuumniveaus
Die zweistufigen SemiProbe-Vakuum-Probing-System für Wafer, die entweder in halbautomatischen oder vollautomatischen Konfigurationen hergestellt werden, sind für eine hohe Leistung und Genauigkeit bei der Prüfung von Sensoren, Beschleunigungsmessern, Schaltern, Mikrobolometern und anderen Bauteilen ausgelegt, die durch den Widerstand der normalen Atmosphäre beeinträchtigt werden, bevor sie teuer verpackt werden.
Unter Verwendung der patentierten PS4L-Technologie stellt SemiProbe eine Reihe von Vakuum-Probing-Systemen her, mit denen Wafer oder Substrate in einer Vakuumumgebung geprüft werden. Außerdem können mit diesem System einzelne Chips und gebrochene/teilweise Wafer getestet werden. Alle Schlüsselmodule sind austauschbar und aufrüstbar.
Anwendungsbeispiele
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Weitere Informationen
Anwendungen
Halbleiterforschung, Waferentwicklung, Gerätecharakterisierung, Produktionstests, Fehleranalyse und Materialentwicklung von mikroelektronischen Bauelementen, MEMS, medizinischen Sensoren, Silizium-Photonik, Optoelektronik, Photovoltaik, Mikrowelle, HF/HF, Leistung, Biomedizin, Nanoelektronik, Spintronik, Mikrofluidik und verpackten Geräten usw.
Branchensegmente
Automobil, Medizin, Konsumgüter, Industrie, Luft- und Raumfahrt, Materialwissenschaft, Raumfahrt, Verteidigung und Forschung usw.
SemiProbe Webseite
Region
Deutschland – Europa
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