Wafer-Tastsystem für Hohe Leistung-Geräte

Die Hochleistungs-Wafer-Testsysteme von SemiProbe sind für den Hochspannungs- und Hochstrom-Tastertest von Hochleistungs-Halbleiterwafern und -bauelementen konzipiert.

Die Systeme werden auf der Grundlage der modularen Probe System for Life (PS4L)-Plattform konfiguriert, die es den Kunden ermöglicht, ein System zu spezifizieren und zu erwerben, das genau ihren Anforderungen oder Budgetbeschränkungen entspricht. Danach können die Systeme entweder aufgerüstet oder neu konfiguriert werden, wenn sich die Anforderungen ändern oder das Budget es zulässt.

Die Hochleistungsprüfstation ist entweder in eine Darkbox oder einen Lichtvorhang integriert und kann mit Keithley-, Keysight-, Tesec- und anderen Prüfgeräten verbunden werden.

Je nach Konfiguration ist das System in der Lage, Bauteile im Freien, in einer Flüssigkeit oder im Vakuum bis zu 10 kV und 500 A (gepulst) zu prüfen, wobei entweder Hochleistungs-Probenarme oder Probe-Cards verwendet werden; niedrigere Bereiche (z.B. 3 kV) sind ebenfalls verfügbar.

Es sind manuelle, halb- und vollautomatische Versionen für die Bearbeitung von 100- bis 300-mm-Wafern erhältlich. Die Systeme können auch dünne Wafer bearbeiten, verfügen über geschlossene Wafer-Chuck mit einem Temperaturbereich von -65°C bis 300°C und bieten eine breite Palette an zusätzlichen Optionen.

Alle Hochleistungssysteme sind mit einem vollständig geschützten, abgeschirmten und verriegelten System ausgestattet, um die Sicherheit der Benutzer zu gewährleisten.